Sensors & Transducers | Our Solutions

Transducer (Wandler) sind Bauteile, die eine bestimmte Form von Energie – wie Licht, Bewegung, Hitze oder eine chemische Reaktion – in eine andere umwandeln. So sind beispielsweise Stellgeräte (Aktoren) eine Art Transducer, die Energie in Bewegung umwandeln. Von einem Sensor spricht man, wenn das Output des Transducers die Energie in ein lesbares Format (eine analoge oder digitale Repräsentation) umwandelt. Transducer und Sensoren – für die sich immer zahlreichere Anwendungsgebiete finden – werden in der Regel dazu verwendet, Signale, die im Alltag generiert werden, umzuwandeln und zu messen. Obschon die Herstellung dieser Elemente nicht notwendig das neueste Fertigungsequipment benötigt, erfordert es doch die Entwicklung von flexiblen Prozessen, die die Realisierung vieler unterschiedlicher Designs unterstützen. Einige Fertigungsschritte involvieren auch Materialien wie piezoelektrische Dünnfilme, die in anderen Bauteilen nicht verwendet werden. Daraus resultieren höchste Anforderungen an die technische Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit, Produktivität und Gesamtkosteneffizienz von Halbleiterfertigungsanlagen.

Unsere Lösungen

Sensoren & Transducer

DSiE PRODUKTFAMILIE

Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)

Diese Produkte bieten eine hervorragende Prozesskontrolle bei hoher Produktivität für verschiedene kritische und nicht kritische Anwendungen des tiefen Ätzens von Silizium.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler

DV-PRIME UND DA VINCI Produktfamilie

Nassreinigung

Diese Produkte bieten die Prozessflexibilität, die bei hoher Produktivität erforderlich ist, um mehrere Waferreinigungsschritte in der gesamten Fertigung abzudecken.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

Fabtex™ Yield Optimizer

Plattform zur Optimierung der Halbleiterausbeute

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

CFET, DRAM, Fortschrittliche Speicher, High Bandwidth Memory, Interconnect, Logik, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

Kiyo PRODUKTFAMILIE

Reaktives Ionenätzen (RIE)

Diese marktführenden Leiterätzungsprodukte bieten höchste Präzision und Kontrolle bei hoher Produktivität, die für kritische Gerätefunktionen erforderlich sind.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

METRYX PRODUKTFAMILIE

Massenmetrologie

Unsere Massemesssysteme bieten Messmöglichkeiten im Milligrammbereich für erweiterte Prozessüberwachung und Steuerung dreidimensionaler Gerätestrukturen.

Analog und MixedSignalTechnologien, Analog- und Mixed-Signal-Technologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

OverViz

Plasmamodellierung

OverViz™ ist eine industrielle Simulationssoftwareplattform für die realitätsgetreue Modellierung von Plasmaentladungen.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Transistor

Prestis™

Gepulste Laserabscheidung (PLD)

Unsere Prestis™ Produktfamilie bietet Lösungen für die Dünnschichtabscheidung einer breiten Palette komplexer Multielement-Materialien für Spezialtechnologie-Anwendungen.

RF MEMS, Sensoren und Wandler

Reliant-Reinigungsprodukte

Nassreinigung/ResistentfernungReliant Systems

Unsere Reliant-Reinigungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Reliant-Abscheidungsprodukte

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)Gepulste Laserabscheidung (PLD)Hochdichte-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (HDP-CVD)MEM/SIoT DesignautomatisierungPlasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)Reliant Systems

Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Reliant-Ätzprodukte

Reaktives Ionenätzen (RIE)Reliant SystemsTiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)

Unsere Reliant-Ätzprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

SEMulator3D

Halbleiter-Prozessmodellierung

SEMulator3D^® ist eine Plattform zur Modellierung von Halbleiterprozessen, die weitreichende Möglichkeiten zur Technologieentwicklung bietet.

DRAM, Flash-Speicher, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Logik, NAND, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

SP-SERIE Produktfamilie

Nassreinigung

Diese bewährte Produktfamilie bietet zuverlässige, kostengünstige Nassreinigungs- / Nassätzlösungen, mit denen unerwünschte Materialien vorsichtig vom Wafer entfernt werden.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler

SPEED Produktfamilie

Hochdichte-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (HDP-CVD)

Diese dielektrischen Abscheidungsprodukte bieten eine vollständige Lücke in Räumen mit hohem Aspektverhältnis und branchenführendem Durchsatz und Zuverlässigkeit.

Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Transistor

Syndion-Produktfamilie

Reaktives Ionenätzen (RIE)Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)

Für Tiefenätzanwendungen bietet diese Produktfamilie die außergewöhnliche Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit, die für kritische Features mit hohem Querschnittsverhältnis unabdingbar ist.

Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Interconnect, Sensoren und Wandler

Vector Produktfamilie

Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)

Unsere PECVD-Produktfamilie ermöglicht eine präzise dielektrische Filmabscheidung bei hoher Produktivität für eine Vielzahl von Anwendungen.

Sensoren & Transducer Lösungen