Solution: High Bandwidth Memory

Fabtex™ Yield Optimizer

半导体良率优化平台

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

SABRE产品系列

电化学沉积(ECD)

该产品系列广泛应用于大马士革工艺上,提供精密的金属铜电镀。

SEMulator3D

半导体工艺建模

SEMulator3D® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.

STRIKER产品系列

原子层沉积(ALD)

使用先进的ALD技术,这些产品提供纳米级尺寸下器件关键工艺所需的介电薄膜。

Syndion 产品系列

反应离子刻蚀(RIE)深反应离子刻蚀(DRIE)

对于深刻蚀应用,此产品系列提供了关键高纵横比特征所需的卓越的跨晶片均匀性控制。

VECTOR产品系列

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

Lam的PECVD产品系列为广泛的器件应用提供了高生产率的精密介电薄膜沉积。