SEMulator3D
PRODUKTE
COVENTOR MODELLIERUNG VON HALBLEITERPROZESSEN
ERWEITERTER SPEICHER, INTERCONNECT, OPTOELEKTRONIK UND PHOTONIK, STRUKTURIERUNG, SENSOREN UND WANDLER, TRANSISTOR
SEMulator3D® ist eine Plattform zur Modellierung von Halbleiterprozessen, die weitreichende Möglichkeiten zur Technologieentwicklung bietet. SEMulator3D basiert auf einer hocheffizienten, physikgesteuerten Voxel-Modellierungstechnologie mit der einzigartigen Fähigkeit, komplette Prozessabläufe zu modellieren. Ausgehend von den eingegebenen Designdaten folgt SEMulator3D einer integrierten Prozessflussbeschreibung, um das virtuelle Äquivalent der komplexen 3-D-Strukturen im Fab zu schaffen.
Die Prozessmodellierung und -analyse mit SEMulator3D wird für die schnelle und genaue „virtuelle Fertigung“ fortschrittlicher Nanofabrikationsprozesse eingesetzt. So können Ingenieure die Auswirkungen der Fertigung bereits in einem frühen Stadium des Entwicklungsprozesses verstehen und zeit- und kostenaufwendige Silizium-Lernzyklen reduzieren.
Herausforderungen für die Industrie
Die kontinuierliche Verbesserung der Halbleitertechnologie in Richtung 3-D-Prozesse, einschließlich Gate-All-Around FET, 3-D-Speicher, BEOL und Rückseitenstrukturierung, hat die Komplexität der Prozessentwicklung erheblich gesteigert. Infolgedessen ist der traditionelle Build-and-Test-Ansatz für die Technologieentwicklung übermäßig kostspielig und zeitaufwendig geworden.
Angesichts der hochmodernen Fabs, die Investitionen in Höhe von mehreren Milliarden Dollar erfordern, und der immer komplexer werdenden Technologie ist der Zeit- und Kostenaufwand für die Trial-and-Error-Methode bei der Entwicklung von Silizium-Technologien inzwischen inakzeptabel geworden. Gleichzeitig rächen sich ungenutzte Marktfenster in einem extremen Ausmaß. Die prädiktive 3-D-Prozessmodellierung in Verbindung mit der Halbleiterprozessmodellierungssoftware von Coventor ist ein alternativer Ansatz, der die Silizium-Lernzyklen drastisch verkürzen, die Entwicklungskosten senken und das Risiko, ein Marktfenster zu verpassen, verringern kann. Im Gegensatz zu tatsächlichen Wafer-Läufen, die Wochen bis Monate dauern, liegen bei der virtuellen Fertigung bereits nach Minuten oder Stunden Ergebnisse vor.
Die prädiktive 3-D-Prozessmodellierung mit der virtuellen Fabrikationsplattform SEMulator3D von Coventor verkürzt Entwicklungszyklen und reduziert die Kosten, die mit traditionellen experimentellen Silizium-Lernzyklen verbunden sind. SEMulator3D ermöglicht es Unternehmen, neue Technologien schneller zur Serienreife zu bringen, indem virtuell hergestellte Wafer für die Entwicklung genutzt werden.
Wichtige Kundenvorteile
- Zeit – Lösungen stehen dank der Simulation bereits nach Stunden und Tagen gegenüber Wochen und Monaten mit echtem Silizium bereit
- Kosten – geringerer Bedarf an Investitionsgütern, Engineering- und Fertigungspersonal, Wafern, Masken, Chemikalien, Verbrauchsmaterialien und Einrichtungen
Wichtige Anwendungen
Pathfinding
- Validierung der Prozessintegration
- Big Branch-Entscheidungen
- Prozessannahmen
Fehleranalyse
- 3-D-Fehlerprüfungen
- Defekt-Kill-Rate
- R/C, Leckage, Gerät, IV, CV usw.
Ausbeute: Rampe und HVM
- Designprozessoptimierung
- Prozessfensteroptimierung
- Wafer-übergreifende Gleichmäßigkeit