Solution: Mini/Micro LED
Kallisto 제품군
전기화학 증착(ECD)
300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.
Phoenix 제품군
습식 세정/스트립 | 전기화학 증착(ECD) | 포토레지스트 제거 | 포토레지스트 현상
Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.
Triton 제품군
습식 세정/스트립 | 전기화학 증착(ECD)
Triton 플랫폼은 단일 웨이퍼 도금과 습식 처리를 위한 다목적 모듈 솔루션입니다.