Solution: DRAM

Akara®

導體蝕刻

Akara 專為大量生產所設計,實現最大製程良率,增加晶圓產量,並消除時間浪費,對任何變化的反應時間僅為毫秒。 業界最先進的蝕刻均勻度控制能力,可提供埃米級關鍵尺寸均勻性和晶圓到晶圓的可重複

Dextro™

清洗維護自動化 12

Dextro 是一種帶有機械手臂的行動裝置,使用各種末端執行器作為手部來處理關鍵設備維護任務,而這些任務在手動完成時,非常耗時且容易出錯。 由晶圓廠技術人員或工程師操作的 Dextro 可執行複雜的維護任務,其精度和可重複性超出了人類的能力,可實現設備更長的正常運行時間和更高的生產良率。

Fabtex™ Yield Optimizer

半導體良率優化平台

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

SEMulator3D

半導體製程建模

SEMulator3D® 是一個半導體製程建模平台,具有廣泛的技術開發能力。