Solution: DRAM

Akara®

導体エッチング

Akara® は、大量生産の現場でプロセス歩留まりを最大限に高めるために設計されており、あらゆる変更に対してミリ秒単位の応答速度で対応し、ウェハの生産量を向上させ、無駄時間を排除します。 業界最先端のエッチング均一性制御により、オングストロームレベルの寸法均一性とウェハ間の高い再現性を実現します。

Dextro™

メンテナンス洗浄自動化

Dextroは、ロボットアームを備えたモバイルユニットであり、さまざまなエンドエフェクター(手の役割を果たすツール)を使用して、手作業では時間がかかり、ミスが発生しやすい重要な装置の保守作業を管理します。 Dextroは、ファブのテクニシャンやエンジニアによって操作され、人間の能力を超えた精度と再現性で複雑な保守作業を実行します。これにより、装置の稼働時間を最大化し、製造の歩留まりを向上させます。

Fabtex™ Yield Optimizer

半導体歩留まり最適化プラットフォーム

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

SEMulator3D

半導体プロセスモデリング

半導体プロセスモデリング・プラットフォーム SEMulator3D® は広範囲にわたる技術開発環境を提供します。