Technology: Atomlagenabscheidung (ALD)

ALTUS Produktfamilie

Atomlagenabscheidung (ALD) Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)

Durch die Kombination von CVD- und ALD-Technologien tragen diese marktführenden Systeme in hohem Grad konforme Metallschichten für moderne Wolfram-Metallbeschichtungsanwendungen auf.

Advanced Packaging, Erweiterter Speicher, Interconnect, Transistor

STRIKER Produktfamilie

Atomlagenabscheidung (ALD)

Mit der fortschrittlichen ALD-Technologie liefern diese Produkte dielektrische Filme mit hervorragender Kontrolle für kritische Prozesse in fortschrittlichen Geräten mit Nanomaßstab.

Advanced Packaging, Erweiterter Speicher, Strukturierung, Transistor