Technology： Atomic Layer Deposition (ALD)
ALTUS产品系列
Atomic Layer Deposition (ALD) Chemical Vapor Deposition (CVD)
结合CVD和ALD技术，这些市场领先的系统为先进的钨金属化应用沉积高度共形的金属膜。
STRIKER产品系列
Atomic Layer Deposition (ALD)
使用先进的ALD技术，这些产品提供纳米级尺寸下器件关键工艺所需的介电薄膜。