Advanced Substrates Archives - Lam Research
MyLam

[Solution:] Advanced Substrates

Kallisto 제품군

Electrochemical Deposition (ECD)

300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.

Phoenix 제품군

Electrochemical Deposition (ECD) PR-Development PR-Strip Wet Clean/Strip/Etch

Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.

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