MyLam

Solution: Automobilindustrie

Kallisto Product Family

Elektrochemische Abscheidung (ECD)

An advanced vertical processing platform for wet chemical treatment of substrates from 300x300mm up to Gen 5.1 (1100 x 1300mm) tailored to the needs of semi industry.

Analog und MixedSignalTechnologien, Automobilindustrie, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Fortschrittliche Substrate, Mini/Micro-LED, Optoelektronik und Photonik, Panel-Level FanOut

Phoenix Product Family

Elektrochemische Abscheidung (ECD)Fotolack-entfernungFotolack-entwicklungNassreinigung/Resistentfernung

Phoenix offers a fully-automated high volume panel processing for 510x515mm substrates.

Analog und MixedSignalTechnologien, Automobilindustrie, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Fortschrittliche Substrate, Mini/Micro-LED, Optoelektronik und Photonik, Panel-Level FanOut

Triton Product Family

Elektrochemische Abscheidung (ECD)Nassreinigung/Resistentfernung

The Triton platform is a versatile and modular solution for single wafer plating and wet processing.

Analog und MixedSignalTechnologien, Automobilindustrie, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Mini/Micro-LED, Optoelektronik und Photonik