Versys Metal Product Family

Products

VERSYS METAL PRODUKTFAMILIE

Reaktives Ionenätzen (RIE)

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Strukturierung

Metallätzprozesse spielen eine Schlüsselrolle bei der Verbindung einzelner Komponenten, die einen integrierten Schaltkreis (IC) bilden, wie Verdrahtungen und elektrische Verbindungen. Diese Vorgänge werden auch verwendet, um die Metallhartmasken (MHM) zu durchbohren, die für Strukturmuster verwendet werden, die für konventionelle Masken zu klein sind, wodurch ein kontinuierliches Schrumpfen der Strukturbreiten ermöglicht wird.

Um diese kritischen Ätzschritte durchführen zu können, bietet Lams Produktfamilie Versys® Metal höchste Produktivität auf einer flexiblen Plattform. Für einige Anwendungen sind ausgewählte Modelle auch über unsere Reliant®-Systeme als generalüberholte Produkte erhältlich, wodurch niedrigere Betriebskosten mit der gleichen Qualität und Leistung wie bei neuen Systemen erzielt werden.

Herausforderungen für die Industrie

Beim Back-End-of-Line-Metallätzen (BEOL) konzentrieren sich Halbleiterhersteller darauf, reproduzierbare Profile und kritische Maße (CD) zu erreichen und zugleich eine Serienproduktion mit großen Mengen und niedrigen Kosten aufrecht zu erhalten. Obwohl Metallhartmasken die BEOL-Integration durch verstärkte Selektivität zu Low-k-Dielektrikfilmen erleichtern, bringen sie auch neue Anforderungen im Bereich der Grabendimensionen oder der Bottomline-Rauheit mit sich. Um den Anforderungen von Hartmasken und anderen BEOL-Metallätzanwendungen gerecht zu werden, werden Ätztechnologien mit anpassbaren Prozessen benötigt, die zugleich auch die Produktivität nicht außer Acht lassen

Wichtige Kundenvorteile

Hochqualitative CD, Profilgleichmäßigkeit und Sicherstellung der Gleichmäßigkeit durch ein symmetrisches Kammerdesign mit unabhängiger Prozessanpassung
Hohe Verfügbarkeit, hohe Ausbeute und außergewöhnliche Prozesswiederholbarkeit mit patentierter Kammerreinigungstechnologie
Aufrüstbare Systeme für niedrige Betriebskosten über mehrere Bauteilegenerationen

Produktangebot

Versys® Metal
Versys® Metal45™
Versys® Metal L
Versys® Metal M

Hauptanwendungsbereiche

TiN-Metallhartmasken
Hoch verdichtete Aluminiumleitungen
Aluminium-Pad