ワードラインメタライゼーション – モリブデンへの移行

Moへの移行ソリューション

MoはALD（原子層堆積）により成膜でき、デバイス構造への充填性を向上させることが可能です。 また、フッ素を含まないハロゲン系プリカーサを使用することで、タングステンにおいて問題となる絶縁膜ダメージを回避できます。 さらに、MoのエッチバックやCMP（化学機械研磨）プロセスは、既存の薬液や装置を活用できるため、製造プロセスへの迅速な統合が可能です。

しかし、ALDツールを用いた製造でMoを実用化するためには、さらなる技術革新が必要となります。 Moの実用化には以下の課題が存在します：

• 高温プロセスの適用が可能であること
• 先進的なリアクター設計とプロセスシーケンスの確立
• ウェハ温度の精密制御
• Mo 固体プリカーサのバルク供給を、さまざまな化学的取り扱い技術を通じて提供

Lamは、ALD技術の革新をリードし、Moの採用を促進するための新技術開発に取り組んでいます。豊富な知識と研究、装置設計、単一プロセスの性能向上、デバイスやアプリケーション全体での統合を活用し、最新のALD技術「ALTUS® Halo」を導入しました。