Eine fortschrittliche vertikale Prozessplattform für die nasschemische Behandlung von Substraten von 300 x 300 mm bis hin zu Gen 5.1 (1100 x 1300 mm), die auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zugeschnitten ist.

Phoenix bietet eine vollautomatische, hochvolumige Plattenverarbeitung für 510×515 mm große Substrate an.

Akara^® wurde für die Massenproduktion mit maximaler Prozessausbeute entwickelt. Das Produkt erhöht den Waferausstoß und eliminiert Zeitverluste, da es innerhalb von Millisekunden auf jede Änderung reagiert. Die branchenweit fortschrittlichste Steuerung der Ätzgleichmäßigkeit sorgt für Gleichmäßigkeit bei kritischen Abmessungen im Angstrombereich sowie Wafer-to-Wafer-Wiederholbarkeit.

Dextro ist eine mobile Einheit mit einem Roboterarm und verwendet verschiedene Endeffektoren als Hände, um kritische Wartungsaufgaben zu erledigen, die bei manueller Ausführung zeitaufwendig und fehleranfällig sind. Dextro wird von einem Fertigungstechniker oder Ingenieur bedient und führt komplexe Wartungsaufgaben mit einer Präzision und Wiederholgenauigkeit durch, die über die menschlichen Fähigkeiten hinausgehen. So ermöglicht er eine Lesen Sie mehr…

Die Triton-Plattform ist eine vielseitige und modulare Lösung für die Beschichtung einzelner Wafer sowie die Nassbearbeitung.

Phoenix bietet eine vollautomatische, hochvolumige Plattenverarbeitung für 510×515 mm große Substrate an.

Unsere Software zur Modellierung von Halbleiterprozessen SEMulator3D® ermöglicht die vorausschauende Modellierung von Ätz-, Abscheidungs- und anderen integrierten Prozessen, um Probleme bereits vor der Fertigung zu erkennen. VizGlow™ ist eine Simulationsplattform für die realitätsgetreue Modellierung von Nicht-Gleichgewichts-Plasmaentladungen.

Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.

Unsere Prestis™ Produktfamilie bietet Lösungen für die Dünnschichtabscheidung einer breiten Palette komplexer Multielement-Materialien für Spezialtechnologie-Anwendungen.