[보관함:] Products
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Akara®
Akara®는 밀리초 단위로 단축한 공정 반응 시간을 통해 웨이퍼 출력을 증가시키고, 낭비되는 시간을 줄여 최대의 공정 수율을 제공합니다. 업계에서 가장 앞선 식각 균일성 제어 기술로 옹스트롬 수준의 높은 균일성과 웨이퍼 간 반복성을 제공합니다.
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Dextro™
Dextro는 로봇 암이 장착된 이동형 장치로, 여러 종류의 엔드 이펙터를 손처럼 사용해 수동으로 작업할 경우 시간이 많이 소요되고 오류가 발생하기 쉬운 주요 장비 유지보수 작업을 관리하는 데 도움을 줍니다. 공장 기술자 또는 엔지니어가 조작하는 Dextro는 사람의 능력으로는 불가능한 수준의 정밀성과 반복성을 갖추고 있어 장비 가동 시간을 늘리고 제조 수율을 높입니다.
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Triton 제품군
Triton 플랫폼은 단일 웨이퍼 도금과 습식 처리를 위한 다목적 모듈 솔루션입니다.
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Phoenix 제품군
Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.
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Kallisto 제품군
300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.
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Semiverse™ Solutions
당사의 반도체 공정 모델링 소프트웨어인 SEMulator3D® 는 식각, 증착 및 기타 통합 공정의 예측 모델링을 통해 제조에 앞서 발생 가능한 문제를 식별합니다. VizGlow™은 비평형 플라스마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 시뮬레이션 플랫폼입니다.
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OverViz
OverViz™는 플라즈마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 산업용 시뮬레이션 소프트웨어 플랫폼입니다.
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SEMulator3D
SEMulator3D®는 광범위한 기술 개발 역량을 갖춘 반도체 공정 모델링 플랫폼입니다.
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Prestis™
램리서치의 Prestis™ 제품군은 특수 기술 응용 분야의 다양한 복합 소재에 맞는 박막 증착 솔루션을 제공합니다.
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Coventor Product Family
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.