Products Archive - Lam Research

归档: Products

  • Triton 产品系列

    Triton 平台是用于单晶圆电镀和湿法工艺的多功能模块化解决方案。

  • Phoenix 产品系列

    Phoenix 可为 510×515 毫米的基板提供全自动大批量面板加工。

  • Kallisto 产品系列

    先进的立式加工平台,用于对 300×300 毫米 至 5.1 代(1100×1300 毫米)的基板进行湿法化学制备,以满足半工业的需求。

  • Semiverse™ 解决方案

    我们的半导体工艺建模软件 SEMulator3D® 可对刻蚀、沉积和其他集成工艺进行预测建模,以便在制造前发现问题。 VizGlow™ 是一种用于非平衡等离子体放电高保真建模的仿真平台。

  • OverViz

    OverViz™ 是一个用于等离子体放电高保真建模的工业仿真软件平台。

  • SEMulator3D

    SEMulator3D® 是一个半导体工艺建模平台,具有广泛的技术开发能力。

  • Pulsus Product Family

    Our Pulsus product family provides thin film deposition solutions for a wide range of complex multi-element materials for Specialty Technologies applications.

  • Coventor Product Family

    Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.

  • 选择性刻蚀产品系列

    突破性产品组合以埃米级精度和超高选择性为 3D 架构和先进逻辑和晶圆代工应用提供各向同性的材料去除。

  • Vantex产品系列

    Vantex专为Sense.i平台设计,通过技术和Equipment Intelligence(设备智能)的创新,重新定义高深宽比刻蚀。

circle-arrow2circle-arrow2facebookgooglehandshake2health2linkedinmenupdfplant2searchtwitteryoutube