Archive: Products
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Triton-Produktfamilie
Die Triton-Plattform ist eine vielseitige und modulare Lösung für die Beschichtung einzelner Wafer sowie die Nassbearbeitung.
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Phoenix-Produktfamilie
Phoenix bietet eine vollautomatische, hochvolumige Plattenverarbeitung für 510×515 mm große Substrate an.
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Kallisto-Produktfamilie
Eine fortschrittliche vertikale Prozessplattform für die nasschemische Behandlung von Substraten von 300 x 300 mm bis hin zu Gen 5.1 (1100 x 1300 mm), die auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zugeschnitten ist.
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Semiverse™ Solutions
Our semiconductor process modeling software, SEMulator3D®, performs predictive modeling of etch, deposition & other integrated processes, to identify problems prior to fabrication. VizGlow™ is a simulation platform for high-fidelity modeling of non-equilibrium plasma discharges.
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OverViz
OverViz™ is an industrial simulation software platform for high-fidelity modeling of plasma discharges.
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SEMulator3D
SEMulator3D® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.
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Pulsus Product Family
Our Pulsus product family provides thin film deposition solutions for a wide range of complex multi-element materials for Specialty Technologies applications.
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Coventor Product Family
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.
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Selective Etch Produktfamilie
Bahnbrechendes Portfolio ermöglicht den isotropen Materialabtrag mit Präzision im Ångström-Maßstab und ultrahohe Selektionsfähigkeiten für 3D-Architekturen und fortschrittliche Logik- und Foundryanwendungen.
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VANTEX PRODUKT FAMILIE
Vantex wurde speziell für die Sense.i Plattform konzipiert und verbindet maximale Ätztiefen und hohe Aspektverhältnisse mit technologischer Innovation und Equipment Intelligence.