Products Archive - Lam Research

彙整: Products

  • Triton 產品系列

    Triton 平台是用於單晶圓電鍍和濕式製程的多功能模組化解決方案。

  • Phoenix 產品系列

    Phoenix 可為 510×515 公釐基板提供全自動大量面板製程。

  • Kallisto 產品系列

    先進的立式製程平台,用於對 300×300 公釐 至 5.1 代(1100×1300 公釐)的基板進行濕式化學處理,以滿足半導體產業的需求。

  • Semiverse™ 解決方案

    我們的半導體製程建模軟體 SEMulator3D® 可對蝕刻、沉積和其他整合製程進行預測建模,以便在製造前發現問題。 VizGlow™ 是一種用於非平衡電漿放電高真實性建模的模擬平台。

  • OverViz

    OverViz™ 是一個用於電漿放電高真實性建模的工業模擬軟體平台。

  • SEMulator3D

    SEMulator3D® 是一個半導體製程建模平台,具有廣泛的技術開發能力。

  • Pulsus 產品系列

    我們的 Pulsus 產品系列為特殊製程應用領域的各種複雜多元素材料提供了薄膜沉積解決方案。

  • Coventor Product Family

    Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.

  • 選擇性蝕刻産品系列

    突破性的産品組合可提供埃米等級的精密度和超高選擇性、等向性材料的去除能力,以滿足3D結構和先進邏輯晶片與晶圓製造應用需求。

  • VANTEX系列產品

    專為Sense.i平台所設計,Vantex透過技術創新和Equipment Intelligence 重新定義了高深寬比蝕刻。

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