アーカイブ: Products
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トリトン製品シリーズ
トリトンプラットフォームは、シングルウェハめっきおよびウェット処理用の汎用性の高いモジュール式ソリューションです。
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フェニックス製品シリーズ
フェニックスは510x515mm 基板用の全自動大量パネル加工を提供します。
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カリスト製品シリーズ
半導体業界のニーズに合わせた、300×300mmからGen5.1（1100x1300mm）までの基材をウェット処理するための先進的な縦型加工プラットフォーム。
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Semiverse™ソリューション
Lam の半導体プロセスモデリングソフトウェア、SEMulator3D®は、エッチングや成膜、および他の統合プロセスの予測モデリングを行い、製造を行う前に問題を特定します。 VizGlow™は非平衡プラズマ放電を高精度にモデリングするシミュレーションプラットフォームです。
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OverViz
OverViz™は、プラズマ放電を忠実にモデリングするための産業用シミュレーションソフトウェア・プラットフォームです。
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SEMulator3D
半導体プロセスモデリング・プラットフォーム SEMulator3D® は広範囲にわたる技術開発環境を提供します。
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Pulsus シリーズ製品
LamのPulsusシリーズ製品は、スペシャルティテクノロジーアプリケーション向けに、幅広い複雑な多元材料の薄膜成膜ソリューションを提供します。
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Coventor Product Family
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.
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高選択エッチング製品群
画期的なポートフォリオにより、3D アーキテクチャ、先端ロジックおよびファウンドリ用途向けに、0.1nm スケールの精度と超高選択性で等方的材料除去を実現します。
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VANTEX シリーズ製品
誘電体エッチングプロセスは、半導体デバイスの製造の中で非導電物質を除去します。特に業界最先端のメモリデバイスは、 ホールやトレンチの深さなどの難しい構造をもつため、厳しい公差で製造される必要があります。ラムリサーチの最新の誘電体エッチングシステムは、比類のない性能を実現し、厳しい高アスペクト比が求められるデバイスに生産性をもたらします。Vantex™は、進化したメモリデバイス製造の要件に対応する高度なRFテクノロジー、均一性制御およびEquipment Intelligence®を提供します。