アーカイブ: Products
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Akara®
Akara® は、大量生産の現場でプロセス歩留まりを最大限に高めるために設計されており、あらゆる変更に対してミリ秒単位の応答速度で対応し、ウェハの生産量を向上させ、無駄時間を排除します。 業界最先端のエッチング均一性制御により、オングストロームレベルの寸法均一性とウェハ間の高い再現性を実現します。
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トリトン製品シリーズ
トリトンプラットフォームは、シングルウェハめっきおよびウェット処理用の汎用性の高いモジュール式ソリューションです。
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フェニックス製品シリーズ
フェニックスは510x515mm 基板用の全自動大量パネル加工を提供します。
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カリスト製品シリーズ
半導体業界のニーズに合わせた、300×300mmからGen5.1（1100x1300mm）までの基材をウェット処理するための先進的な縦型加工プラットフォーム。
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Semiverse™ソリューション
Lam の半導体プロセスモデリングソフトウェア、SEMulator3D®は、エッチングや成膜、および他の統合プロセスの予測モデリングを行い、製造を行う前に問題を特定します。 VizGlow™は非平衡プラズマ放電を高精度にモデリングするシミュレーションプラットフォームです。
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OverViz
OverViz™は、プラズマ放電を忠実にモデリングするための産業用シミュレーションソフトウェア・プラットフォームです。
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SEMulator3D
半導体プロセスモデリング・プラットフォーム SEMulator3D® は広範囲にわたる技術開発環境を提供します。
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Prestis™
弊社のPrestis™製品は、スペシャルティテクノロジー向けに、幅広い複雑な多元材料の薄膜成膜ソリューションを提供します。
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Coventor Product Family
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.
