归档： Products

GAMMA Product Family

这些产品提供了去除各类关键步骤的光刻胶所需的工艺灵活性。
Syndion 产品系列

对于深刻蚀应用，此产品系列提供了关键高纵横比特征所需的卓越的跨晶片均匀性控制。
FLEX产品系列

Lam的介电刻蚀设备能够刻蚀各种具有挑战性的结构，以应用在先进器件上。
VERSYS METAL产品系列

这些金属刻蚀产品为电互连和金属硬掩模应用提供了高生产率的极佳工艺控制。
KIYO产品系列

Lam市场领先的导体刻蚀产品能够为关键器件在保障高生产率的前提下提供所需的高精度和控制。
SOLA产品系列

该产品系列提供专门的沉积薄膜后处理，以改善先进薄膜应用的物理特性。
SPEED产品系列

这些介电质沉积产品提供高深宽比空间的完全间隙填充，具有行业领先的产量和可靠性。
STRIKER产品系列

使用先进的ALD技术，这些产品提供纳米级尺寸下器件关键工艺所需的介电薄膜。
VECTOR产品系列

Lam的PECVD产品系列为广泛的器件应用提供了高生产率的精密介电薄膜沉积。
ALTUS产品系列

结合CVD和ALD技术，这些市场领先的系统为先进的钨金属化应用沉积高度共形的金属膜。