Solution:  逻辑器件

Akara®

导体刻蚀

Akara® 旨在实现具有最大工艺良率的大批量生产,可提高晶圆产量并消除时间浪费,其对任何变化的响应时间均为毫秒级。 行业最先进的刻蚀均匀性控制可提供埃米级关键尺寸下的均匀性和晶圆间可重复性。

Dextro™

清洗维护自动化

Dextro 是一个带有机械臂的移动装置,其使用各种末端执行器作为手来完成关键的设备维护任务,而这些任务在人为手动完成时非常耗时且容易出错。 由晶圆厂技术人员或工程师操作的 Dextro 可执行复杂的维护任务,其精度和可重复性是仅人类所无法达成的,这可提高设备的正常运行时间和制造良率。

Fabtex™ Yield Optimizer

半导体良率优化平台

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

SEMulator3D

半导体工艺建模

SEMulator3D® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.