Akara® 專為大量生產所設計，實現最大製程良率，增加晶圓產量，並消除時間浪費，對任何變化的反應時間僅為毫秒。 業界最先進的蝕刻均勻度控制能力，可提供埃米級關鍵尺寸均勻性和晶圓到晶圓的可重複性。
清潔 維護 自動化
Dextro 是一種帶有機械手臂的行動裝置，使用各種末端執行器作為手部來處理關鍵設備維護任務，而這些任務在手動 阅读全文……
