Akara® 專為大量生產所設計,實現最大製程良率,增加晶圓產量,並消除時間浪費,對任何變化的反應時間僅為毫秒。 業界最先進的蝕刻均勻度控制能力,可提供埃米級關鍵尺寸均勻性和晶圓到晶圓的可重複性。
半導體製程建模
SEMulator3D® 是一個半導體製程建模平台,具有廣泛的技術開發能力。