Technology: 電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）

Reliant 沉積產品

Reliant 系統化學氣相沉積（CVD）脈衝雷射沉積（PLD）電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）高密度電漿化學氣相沉積（HDP-CVD）

我們的 Reliant 沉積產品可實現特殊製程藍圖，並延長晶圓廠的生產壽命。

先進封裝, 互連, 先進記憶體, 光電與光子, 分立與功率元件, 圖案化, 射頻 MEMS, 感測器和傳感器, 電晶體, 類比與混合訊號

VECTOR系列產品

電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）

Lam Research的 PECVD產品能以高生產力為各種元件應用提供精密的介電層薄膜沉積。

先進封裝, 互連, 先進記憶體, 光電與光子, 分立與功率元件, 圖案化, 感測器和傳感器, 電晶體, 類比與混合訊號