Solution: パターニング
SEMulator3D
Semiconductor Process Modeling
SEMulator3D® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.
SENSE.I製品
リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
私たちの最新エッチング装置のプラットフォームは、最高の生産性でプロセスパフォーマンスを提供するコンパクトで高密度のアーキテクチャで比類のないシステムインテリジェンスを実現します。
STRIKER シリーズ製品
Atomic Layer Deposition (ALD)
高度なALD技術を活用することにより、これらの製品はナノスケールの機能を備えた高度なデバイスのクリティカルプロセスに対して優れた制御性能を実現する酸化膜を提供します。
VECTOR シリーズ製品
プラズマ化学気相成長（PECVD）
ラムリサーチ社のPECVD製品ファミリーは、幅広いデバイスアプリケーションに対応した高い生産性の精密な酸化膜成膜を提供します。
高度なパッケージング, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング, 高度なメモリ
VERSYS METAL シリーズ製品
リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
これらのメタルエッチング製品は、電気配線およびメタルハードマスク用途向けに高い生産性を備えたプロセス制御を提供します。
