High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Archives - Lam Research
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[Technology:] High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

Reliant Deposition 제품

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems 펄스 레이저 증착(PLD)

램리서치의 Reliant 증착 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.

SPEED 제품군

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

이 유전체 증착 제품은 업계 최고의 처리량과 신뢰성으로 고종횡비(high aspect ratio) 공간에 완벽한 갭필(gapfill)을 구현합니다.

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