Technology: 高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
RELIANT成膜製品
RELIANT システム パルスレーザー堆積（PLD） プラズマ化学気相成長（PECVD） 化学気相成長（CVD） 高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
高度なパッケージング, RF MEMS, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング, 高度なメモリ
SPEED シリーズ製品
高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
これらの酸化膜成膜製品は、業界最高のスループットと信頼性を備えた高アスペクト比スペースの完全なギャップフィル機能を提供します。