Atomic Layer Etch (ALE) 低温刻蚀 反应离子刻蚀（RIE）
Lam的介电刻蚀设备能够刻蚀各种具有挑战性的结构，以应用在先进器件上。
低温刻蚀 反应离子刻蚀（RIE）
Vantex专为Sense.i平台设计，通过技术和Equipment Intelligence（设备智能）的创新，重新定义高深宽比刻蚀。
