Technology: Atomic Layer Etch (ALE)

FLEX系列產品

Atomic Layer Etch (ALE) 反應離子蝕刻（RIE）

Lam Research的介電層蝕刻系統具備應用導向功能，可用來建構先進元件中的各種高難度結構。

先進封裝, 互連, 先進記憶體, 光電與光子, 分立與功率元件, 圖案化, 電晶體, 類比與混合訊號