Atomic Layer Etch (ALE) Archives - Lam Research

Technology: Atomic Layer Etch (ALE)

FLEX シリーズ製品

Atomic Layer Etch (ALE) リアクティブ・イオンエッチング(RIE)

ラムリサーチの酸化膜エッチシステムは、先進のデバイスに求められる複雑な構造を備えた幅広いアプリケーションに配慮した機能を提供します。

SENSE.I製品

Atomic Layer Etch (ALE) ディープリアクティブ・イオンエッチング(DRIE)

私たちの最新エッチング装置のプラットフォームは、最高の生産性でプロセスパフォーマンスを提供するコンパクトで高密度のアーキテクチャで比類のないシステムインテリジェンスを実現します。

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