Technology： Atomic Layer Etch (ALE)

FLEX产品系列

Atomic Layer Etch (ALE) 反应离子刻蚀（RIE）

Lam的介电刻蚀设备能够刻蚀各种具有挑战性的结构，以应用在先进器件上。

先进封装, 互联, 光电子学与光子学, 分立与功率器件, 图形化, 晶体管, 模拟与混合信号, 高级内存