Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.

300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.

Dextro는 로봇 암이 장착된 이동형 장치로, 여러 종류의 엔드 이펙터를 손처럼 사용해 수동으로 작업할 경우 시간이 많이 소요되고 오류가 발생하기 쉬운 주요 장비 유지보수 작업을 관리하는 데 도움을 줍니다. 공장 기술자 또는 엔지니어가 조작하는 Dextro는 사람의 능력으로는 불가능한 수준의 정밀성과 반복성을 갖추고 있어 장비 가동 시간을 늘리고 제조 수율을 높입니다.

Akara^®는 밀리초 단위로 단축한 공정 반응 시간을 통해 웨이퍼 출력을 증가시키고, 낭비되는 시간을 줄여 최대의 공정 수율을 제공합니다. 업계에서 가장 앞선 식각 균일성 제어 기술로 옹스트롬 수준의 높은 균일성과 웨이퍼 간 반복성을 제공합니다.

Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.

Triton 플랫폼은 단일 웨이퍼 도금과 습식 처리를 위한 다목적 모듈 솔루션입니다.

당사의 반도체 공정 모델링 소프트웨어인 SEMulator3D® 는 식각, 증착 및 기타 통합 공정의 예측 모델링을 통해 제조에 앞서 발생 가능한 문제를 식별합니다. VizGlow™은 비평형 플라스마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 시뮬레이션 플랫폼입니다.

램리서치의 Prestis™ 제품군은 특수 기술 응용 분야의 다양한 복합 소재에 맞는 박막 증착 솔루션을 제공합니다.