OverViz
產品
VizGlow™ 是一種用於非平衡電漿放電高真實性建模的工業模擬工具。 作為 OverViz™ 模擬套件的一部分，它可以與電磁、流體流動和動力學粒子模型完全結合，為各種複雜的多物理場問題提供解決方案。 它可用於分析從幾 mTorr 的低壓電漿反應器到 15atm 的高壓流體的放電——僅需一個求解器即可。 VizGlow 是完全平行化的，可用來執行具有複雜幾何形狀的大型 3D 模擬。
產業挑戰
電漿模擬器的使用者經常會遇到這樣的問題：為特定的電漿問題選擇正確的模型，選擇正確的數值方法來解決問題，以及正確解釋模擬器得到的結果。 VizGlow 專注於半導體產業遇到的問題，經過二十年的模擬驗證和確效工作，才打造出這項產品。 從一開始，VizGlow 便是以在單一框架中納入所有不同的物理學所設計的。
客戶的重要效益
VizGlow 在支援半導體設備和積體電路（IC）製造業方面有著悠久的歷史。 半導體製造商使用 VizGlow 來分析現有設備、改善製程並開發新的設備概念。 積體電路製造商利用我們的軟體來最佳化其製造製程、識別／修正製程異常以及設計新設備。 VizGlow 還透過 ChemZone 與廣泛的化學資料庫完全耦合，從而得到進一步加強，ChemZone 已被用於快速探索半導體製造中的大型製程參數空間，以及開發和驗證新的有限速率化學動力學機制、製程電漿、燃燒和其他氣體化學動力學。
產品
- VizGlow－全耦合非平衡電漿求解器
- VizSpark－熱電漿模擬器
- ChemZone－快速電漿化學模擬器
主要應用
- 半導體蝕刻和沉積
- 最佳化製造配方和製程
- 識別和修正製程異常
- 電漿推進
- 灰塵和電漿行為模擬
- 雷射電漿模擬