射頻 MEMS Archives - Lam Research

Solution: 射頻 MEMS

Pulsus 產品系列

脈衝雷射沉積(PLD)

我們的 Pulsus 產品系列為特殊製程應用領域的各種複雜多化合物材料提供了薄膜沉積解決方案。

Reliant 沉積產品

Reliant 系統 化學氣相沉積(CVD) 脈衝雷射沉積(PLD) 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD) 高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)

我們的 Reliant 沉積產品可實現特殊製程藍圖,並延長晶圓廠的生產壽命。

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