Solution: Packaging

ALTUSシリーズ製品

Atomic Layer Deposition (ALD) Chemical Vapor Deposition (CVD)

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜します。

DSIE シリーズ製品

DRIE

このシリーズ製品は、クリティカル・非クリティカルを問わず、ディープシリコンエッチング用途に対し、優れた生産性の高いプロセス制御を提供します。

DV-PRIME & DA VINCI シリーズ

Spin Wet Clean

これらの製品は製造工程全体にわたる複数のウェハクリーニングステップにおいて求められる高い生産性と柔軟性を実現するプロセスを提供します。

FLEX シリーズ製品

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch

ラムリサーチの酸化膜エッチシステムは、先進のデバイスに求められる複雑な構造を備えた幅広いアプリケーションに配慮した機能を提供します。

METRYX シリーズ製品

Mass Metrology

ラムリサーチの質量計測システムは、高度なプロセス監視と3次元デバイス構造の制御により、サブミリグラムレベルの計測能力を提供します。

RELIANTエッチング製品

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、コンダクター膜、酸化膜、および金属エッチング アプリケーションにおいて低所有コストで、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

RELIANTクリーン製品

Reliant Systems Spin Wet Clean

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、フロントサイドならびにバックサイド/ベベルのクリーニングにおいて低所有コスト、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

RELIANT成膜製品

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、酸化膜アプリケーションにおいて低所有コスト、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

SABRE 3D シリーズ製品

Electrochemical Deposition (ECD)

ラムリサーチの実績のあるElectrofill技術により、これらの高生産性システムは高度なパッケージングアプリケーションを開発するための高品質な金属膜を提供します。

Sense.iの詳細

Atomic Layer Etch (ALE) DRIE

ラムリサーチの最新エッチング装置のプラットフォームは、コンパクトで高密度のアーキテクチャで比類のないシステムインテリジェンスを提供し、最高の生産性でプロセスパフォーマンスを提供します。

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