Wet Clean/Strip/Etch Archives - Lam Research
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[Technology:] Wet Clean/Strip/Etch

DV-Prime & Da Vinci 제품군

Wet Clean/Strip/Etch

제조 전반에 걸쳐 웨이퍼 세정의 여러 단계를 높은 생산성으로 처리하는 데 필요한 공정 유연성을 갖추고 있습니다.

Galaxy 제품군

Wet Clean/Strip/Etch

Galaxy 플랫폼은 배치(batch) 웨이퍼 공정에 대한 다년간의 경험과 일반적으로 단일 웨이퍼 장비에서만 볼 수 있는 첨단 공정 제어가 결합되어 있습니다.

Kallisto 제품군

Dielectric Developement Electrochemical Deposition (ECD) PR-Development PR-Strip Wet Clean/Strip/Etch

300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.

Phoenix 제품군

Dielectric Developement Electrochemical Deposition (ECD) PR-Development PR-Strip Wet Clean/Strip/Etch

Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.

Reliant Clean 제품

Reliant Systems Wet Clean/Strip/Etch

램리서치의 Reliant 세정 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.

SP 시리즈 제품군

Wet Clean/Strip/Etch

성능이 검증된 이 제품군은 뛰어난 신뢰성과 비용 효과로 웨이퍼에서 불필요한 물질을 부드럽게 제거하는 습식 세정/습식 식각 솔루션입니다.

Triton 제품군

Electrochemical Deposition (ECD) Wet Clean/Strip/Etch

Triton 플랫폼은 단일 웨이퍼 도금과 습식 처리를 위한 다목적 모듈 솔루션입니다.

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