归档： Products
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VECTOR产品系列
Lam的PECVD产品系列为广泛的器件应用提供了高生产率的精密介电薄膜沉积。
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ALTUS系列产品
结合化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)技术，这些领先市场的设备可为先进的钨金属化应用沉积出所需之高度均匀一致的(conformal)薄膜。
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SABRE 3D产品系列
利用Lam公司成熟的Electrofill技术，这些高生产率的系统可为先进封装应用提供高质量的金属薄膜。
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SABRE产品系列
该产品系列广泛应用于大马士革工艺上，提供精密的金属铜电镀。