Technology: Reliant 系統

Reliant 沉積產品

Reliant 系統化學氣相沉積（CVD）脈衝雷射沉積（PLD）電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）高密度電漿化學氣相沉積（HDP-CVD）

我們的 Reliant 沉積產品可實現特殊製程藍圖，並延長晶圓廠的生產壽命。

先進封裝, 互連, 先進記憶體, 光電與光子, 分立與功率元件, 圖案化, 射頻 MEMS, 感測器和傳感器, 電晶體, 類比與混合訊號

Reliant 清洗產品

Reliant 系統濕式清洗／光阻去除／蝕刻

我們的 Reliant 清洗產品可實現特殊製程藍圖，並延長晶圓廠的生產壽命。

先進封裝, 互連, 光電與光子, 分立與功率元件, 圖案化, 感測器和傳感器, 電晶體, 類比與混合訊號

Reliant 蝕刻產品

Reliant 系統反應離子蝕刻（RIE）深反應離子蝕刻（DRIE）

我們的 Reliant 蝕刻產品可實現特殊製程藍圖，並延長晶圓廠的生產壽命。

先進封裝, 互連, 先進記憶體, 光電與光子, 分立與功率元件, 感測器和傳感器, 電晶體, 類比與混合訊號