Technology: RELIANT システム
RELIANT クリーニング製品
RELIANT システム ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング
ラムリサーチの RELIANTクリーニング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
高度なパッケージング, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング
RELIANTエッチング製品
RELIANT システム ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE） リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
当社の RELIANT エッチング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
高度なパッケージング, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, 高度なメモリ
RELIANT成膜製品
RELIANT システム パルスレーザー堆積（PLD） プラズマ化学気相成長（PECVD） 化学気相成長（CVD） 高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
高度なパッケージング, RF MEMS, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング, 高度なメモリ