[Technology:] Electrochemical Deposition (ECD)
Kallisto 제품군
Electrochemical Deposition (ECD)
300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.
Advanced Memory, Advanced Packaging, Advanced Substrates, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics, Panel Level Fanout
Phoenix 제품군
Electrochemical Deposition (ECD) PR-Development PR-Strip Wet Clean/Strip/Etch
Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.
Advanced Memory, Advanced Packaging, Advanced Substrates, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics, Panel Level Fanout
SABRE 3D 제품군
Electrochemical Deposition (ECD)
이 고생산성 시스템은 램리서치의 검증된 전기충진(Electrofill) 기술을 사용하여 첨단 패키징 분야에 필요한 양질의 금속막을 만듭니다.
SABRE 제품군
Electrochemical Deposition (ECD)
이 제품군은 업계 최고의 생산성을 자랑하는 ECD 플랫폼에서 구리 다마신을 제조할 때 필요한 고정밀 금속 도금 기능이 있습니다.
Triton 제품군
Electrochemical Deposition (ECD) Wet Clean/Strip/Etch
Triton 플랫폼은 단일 웨이퍼 도금과 습식 처리를 위한 다목적 모듈 솔루션입니다.
Advanced Memory, Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics