Technology: Electrochemical Deposition (ECD)

SABRE 3D 系列產品

Electrochemical Deposition (ECD)

利用Lam Research通過驗證的Electrofill 技術,這些高生產力系統可為先進封裝應用提供所需的高品質金屬薄膜。

SABRE系列產品

Electrochemical Deposition (ECD)

此系列產品可在生產力領先業界的ECD平台上提供銅鑲嵌(damascene)製程所需的精密金屬電鍍功能。

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