[Process:] 식각

CORONUS 제품군

Advanced Packaging Plasma Bevel Etch and Deposition

Coronus 시스템은 웨이퍼 베벨 엣지에 중점을 두어 전반적인 수율을 높입니다. 반도체 공정 진행 시 웨이퍼 가장자리를 따라 잔여물과 거칠기가 누적됩니다. 이는 웨이퍼의 다른 영역으로 떨어져 날리면 장치의 고장을 유발하는 결함을 발생시킬 수 있습니다. Coronus 식각 제품은 웨이퍼 베벨에 있는 잔여물을 제거하고 Coronus 증착 제품은 웨이퍼 베벨이 손상되지 않도록 보호합니다.

Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor

FLEX 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch (RIE)

램리서치의 유전체 식각 시스템은 용도에 맞춘 기능 덕분에 고급 소자의 까다로운 구조를 다양하게 만들 수 있습니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Patterning, Transistor

KIYO 제품군

Reactive Ion Etch (RIE)

시장을 선도하는 램리서치의 전도체 식각 제품은 주요 소자 피처(feature)에 요구되는 고성능 정밀도와 제어력이 특징입니다.

Advanced Memory, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Patterning, Transistor, 센서 및 트랜스듀서

Reliant Etch 제품

Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Reactive Ion Etch (RIE) Reliant Systems

램리서치의 Reliant 식각 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Transistor, 센서 및 트랜스듀서

SENSE.I 제품군

Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Reactive Ion Etch (RIE)

램리서치의 최신 식각 플랫폼은 컴팩트한 고밀도 구조에 누구도 따라올 수 없는 시스템 지능을 갖추고 있어 공정 성능을 최고의 생산성으로 구현합니다.

Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor

Syndion 제품군

Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Reactive Ion Etch (RIE)

딥 식각 응용 부문에서 이 제품군은 고종횡비 피처를 형성하는 데 필요한 우수한 웨이퍼 균일도 제어 능력을 제공합니다.

Advanced Packaging, Interconnect, 센서 및 트랜스듀서

VANTEX 제품군

Reactive Ion Etch (RIE)

Sense.i 플랫폼용으로 설계한 Vantex는 기술 혁신과 Equipment Intelligence로 고종횡비 식각을 새롭게 정의합니다.

Advanced Memory

VERSYS METAL 제품군

Reactive Ion Etch (RIE)

이 금속 식각 제품은 전기 연결 및 금속 하드마스크 분야에서 높은 생산성으로 공정을 완벽하게 제어합니다.

Advanced Memory, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Patterning

고선택비 식각 제품군

Selective Etch 선택적 식각

획기적인 고선택비 식각 장비 포트폴리오는 3D 구조와 첨단 로직 및 파운드리 애플리케이션을 위한 옹스트롬(Å) 수준의 정밀도와 초고도 선택비 기반의 역량으로 등방성 식각을 지원합니다.

Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor