아날로그 및 혼합 신호 솔루션

아날로그 전자기기는 연속 가변 신호가 있는 소자이며, 디지털 전자기기에는 개별 신호가 두 가지 레벨(예: “on”과 “off”)로 구분되어 있습니다. 이름에서 알 수 있듯이 혼합 신호 소자에는 아날로그 회로와 디지털 회로가 둘 다 있습니다. 혼합 신호 디자인은 비용 효과가 좋아 주로 소비가전을 제조할 때 사용되는 솔루션이며, 이 범주는 스마트폰 및 기타 휴대용 기술의 사용이 늘면서 급성장했습니다. 아날로그 및 혼합 신호 소자를 경제적으로 제조하기 위해서는 높은 신뢰성과 생산성에 비용 효과가 좋은 처리 장비 필요합니다.



아날로그 및 혼합 신호

램리서치 솔루션

DSIE 제품군

DRIE

이 제품은 여러 딥 실리콘 식각(etch) 주요 및 비주요 공정에서 높은 생산성으로 공정을 완벽하게 제어합니다.

DV-Prime & Da Vinci Product Families

Spin Wet Clean

이 제품은 제조 과정에서 여러 웨이퍼 세정 단계를 해결하는 데 필요한 높은 생산성과 함께 프로세스 유연성을 제공합니다.

FLEX 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch

램리서치의 유전체 식각 시스템은 용도에 맞춘 기능 덕분에 첨단 고급 제품 소자의 까다로운 구조를 다양하게 만들 수 있습니다.

KIYO 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch

시장을 선도하는 램리서치의 전도체 식각 제품은 주요 소자 제품 피처에 요구되는 고성능 정밀도와 뛰어난 제어력을 제공합니다.

METRYX 제품군

Mass Metrology

램리서치의 질량 계측 시스템에는 3차원 소자 구조의 첨단 공정 모니터링과 제어에 필요한 미세하며 정교한 밀리그램 미만 단위 측정 기능이 있습니다.

RELIANT CLEAN 제품

Reliant Systems Spin Wet Clean

새로 업그레이드된 램리서치의 Reliant™ 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 광범위한 전면 및 후면/베벨 세정 분야에서 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

RELIANT DEPOSITION 제품

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

새로 업그레이드된 램리서치의 Reliant™ 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 유전막 분야에서 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

RELIANT ETCH 제품

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

새로 업그레이드된 램리서치의 Reliant™ 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 전도체, 유전체, 금속 식각 분야에서 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

SP 시리즈 제품군

Spin Wet Clean

성능이 검증된 이 제품군은 뛰어난 신뢰성과 비용 효과로 웨이퍼에서 불필요한 물질을 부드럽게 제거하는 습식 세정/습식 식각 솔루션입니다.

VECTOR 제품군

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

램리서치의 PECVD 제품군은 광범위한 소자 분야에서 높은 생산성으로 고정밀 유전막 증착을 실현합니다.

VERSYS METAL 제품군

Reactive Ion Etch

이 금속 식각 제품은 전기적 연결 및 금속 하드마스크 분야에서 높은 생산성으로 공정을 완벽하게 제어합니다.

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