Diskrete Halbleiter sind Einzelbauteile wie Dioden oder Transistoren. Eine wesentliche Kategorie von Einzelhalbleitern sind Leistungstransistoren, die vielfältig verwendet werden, um Spannungen zu regulieren, Energieverbräuche zu senken oder Wärmeentwicklung zu verringern. Beispielsweise werden die Bauteile auch in Schaltungen genutzt, um die Batterielebensdauer von mobilen Geräten zu erhöhen. Neue breitlückige (wide-bandgap) Leistungshalbleiter (z. B. GaN und SiC) ermöglichen sowohl low- und high-power Anwendungen bei höheren Frequenzen für Unterhaltungselektronik sowie high-power Anwendungen im Stromnetz und im Energie-, Transport- oder Automobilbereich. Beispiele für silizium- oder wide-bandgap-basierende Leistungshableiter sind u. a. Leistungsdioden, Thyristoren, MOSFETs (power metal-oxide semiconductor field effect transistors) und IGBTs (insulated gate bipolar transistors). Diese Devicetypen müssen zu besonders günstigen Kosten produziert werden. Dazu braucht es zuverlässiges, hochproduktives und kosteneffizientes Fertigungsequipment.
EINZEL- & LEISTUNGSHALBLEITER (DISCRETES & POWER DEVICES) Lösungen
Unsere Lösungen
DSiE PRODUKTFAMILIE
Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)
Diese Produkte bieten eine hervorragende Prozesskontrolle bei hoher Produktivität für verschiedene kritische und nicht kritische Anwendungen des tiefen Ätzens von Silizium.
DV-PRIME UND DA VINCI
Produktfamilie
Nassreinigung/Strippen/Ätzen Wet Clean/Strip/Etch
Diese Produkte bieten die Prozessflexibilität, die bei hoher Produktivität erforderlich ist, um mehrere Waferreinigungsschritte in der gesamten Fertigung abzudecken.
FLEX PRODUKTFAMILIE
Atomic Layer Etch (ALE) Reaktive Ionenätzung (RIE)
Die dielektrischen Ätzsysteme von Lam bieten anwendungsorientierte Funktionen zum Erstellen einer Vielzahl anspruchsvoller Strukturen in modernen Geräten.
Kiyo PRODUKTFAMILIE
Reaktive Ionenätzung (RIE)
Diese marktführenden Leiterätzungsprodukte bieten höchste Präzision und Kontrolle bei hoher Produktivität, die für kritische Gerätefunktionen erforderlich sind.
METRYX PRODUKTFAMILIE
Mass Metrology
Unsere Massemesssysteme bieten Messmöglichkeiten im Milligrammbereich für erweiterte Prozessüberwachung und Steuerung dreidimensionaler Gerätestrukturen.
Reliant-Abscheidungsprodukte
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD) Gepulste Laserabscheidung (PLD) Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Reliant Systems
Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.
Reliant-Ätzprodukte
Reaktive Ionenätzung (RIE) Reliant Systems Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)
Unsere Reliant-Ätzprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.
Reliant-Reinigungsprodukte
Nassreinigung/Strippen/Ätzen Reliant Systems
Unsere Reliant-Reinigungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.
SENSE.I PRODUKTFAMILIE
Atomic Layer Etch (ALE) Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)
Unsere neueste Ätzplattform bietet beispiellose Systemintelligenz in einer kompakten Architektur mit hoher Dichte, um Prozessleistung bei höchster Produktivität zu erzielen.
SP-SERIE Produktfamilie
Nassreinigung/Strippen/Ätzen Wet Clean/Strip/Etch
Diese bewährte Produktfamilie bietet zuverlässige, kostengünstige Nassreinigungs- / Nassätzlösungen, mit denen unerwünschte Materialien vorsichtig vom Wafer entfernt werden.
SPEED Produktfamilie
Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD)
Diese dielektrischen Abscheidungsprodukte bieten eine vollständige Lücke in Räumen mit hohem Aspektverhältnis und branchenführendem Durchsatz und Zuverlässigkeit.
Vector Produktfamilie
Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Unsere PECVD-Produktfamilie ermöglicht eine präzise dielektrische Filmabscheidung bei hoher Produktivität für eine Vielzahl von Anwendungen.
VERSYS METAL PRODUKTFAMILIE
Reaktive Ionenätzung (RIE)
Diese Metallätzprodukte bieten eine hervorragende Prozesskontrolle bei hoher Produktivität für elektrische Verbindungen und Metallhartmaskenanwendungen.