Process: ストリップと洗浄
DV-PRIME & DA VINCI シリーズ
ウェットクリーニング
これらの製品は製造工程全体にわたる複数のウェハクリーニングステップにおいて求められる高い生産性と柔軟性を実現するプロセスを提供します。
RELIANT クリーニング製品
RELIANT システム ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング
ラムリサーチの RELIANTクリーニング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
SP シリーズ製品
ウェットクリーニング
この実証済みの製品ファミリーは、ウェハから不要な材料を無理なく除去する、高信頼性、高コスト効率のウェットクリーニング/ウェットエッチングソリューションを提供します 。
トリトン製品シリーズ
ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング 電解メッキ (ECD)
トリトンプラットフォームは、シングルウェハめっきおよびウェット処理用の汎用性の高いモジュール式ソリューションです。
フェニックス製品シリーズ
PR ストリップ PR 現像 ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング 電解メッキ (ECD)
フェニックスは510x515mm 基板用の全自動大量パネル加工を提供します。