Solution: Sensors & Transducers

SYNDION 系列產品

DRIE Reactive Ion Etch

針對深蝕刻應用,此系列產品可為關鍵的高深寬比結構提供優異的整片晶圓均勻度控制。

VECTOR系列產品

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

Lam Research的 PECVD產品能以高生產力為各種元件應用提供精密的介電層薄膜沉積。

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