Solution: Transistor

RELIANT清洗产品

Reliant Systems Spin Wet Clean

Lam的翻新和全新Reliant产品可提供可靠的、经生产验证的解决方案,客户以低成本即可拥有一系列晶圆正面、背面和边缘清洗设备。

SENSE.I产品系列

Atomic Layer Etch (ALE) Deep Reactive Ion Etch (DRIE) DRIE

泛林集团最新推出的刻蚀产品系列,以其既小巧又高精度的架构打造了独一无二的的智能系统,以提供超高产率的处理性能。

SOLA产品系列

Ultraviolet Thermal Processing (UVTP)

该产品系列提供专门的沉积薄膜后处理,以改善先进薄膜应用的物理特性。

SPEED产品系列

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

这些介电质沉积产品提供高深宽比空间的完全间隙填充,具有行业领先的产量和可靠性。

STRIKER产品系列

Atomic Layer Deposition (ALD)

使用先进的ALD技术,这些产品提供纳米级尺寸下器件关键工艺所需的介电薄膜。

VECTOR产品系列

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

Lam的PECVD产品系列为广泛的器件应用提供了高生产率的精密介电薄膜沉积。

选择性刻蚀产品系列

Selective Etch

突破性产品组合以埃米级精度和超高选择性为 3D 架构和先进逻辑和晶圆代工应用提供各向同性的材料去除。

circle-arrow2circle-arrow2facebookgooglehandshake2health2linkedinmenupdfplant2searchtwitteryoutube