Solution: Analog & Mixed Signal
VECTOR シリーズ製品
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
ラムリサーチ社のPECVD製品ファミリーは、幅広いデバイスアプリケーションに対応した高い生産性の精密な酸化膜成膜を提供します。
VERSYS METAL シリーズ製品
Reactive Ion Etch
これらのメタルエッチング製品は、電気配線およびメタルハードマスク用途向けに高い生産性を備えたプロセス制御を提供します。