Solution: センサーとトランスデューサー
SEMulator3D
Semiconductor Process Modeling
SEMulator3D® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.
SP シリーズ製品
ウェットクリーニング
この実証済みの製品ファミリーは、ウェハから不要な材料を無理なく除去する、高信頼性、高コスト効率のウェットクリーニング/ウェットエッチングソリューションを提供します 。
SPEED シリーズ製品
高密度プラズマ化学気相成長(HDP-CVD)
これらの酸化膜成膜製品は、業界最高のスループットと信頼性を備えた高アスペクト比スペースの完全なギャップフィル機能を提供します。
Syndion製品ファミリー
ディープリアクティブ・イオンエッチング(DRIE) リアクティブ・イオンエッチング(RIE)
ディープエッチング用途では、高アスペクト比の重要な形状に必要な卓越したウェーハ全体にわたる均一性制御を提供します。
VECTOR シリーズ製品
プラズマ化学気相成長(PECVD)
ラムリサーチ社のPECVD製品ファミリーは、幅広いデバイスアプリケーションに対応した高い生産性の精密な酸化膜成膜を提供します。