Solution: インターコネクト

RELIANT システムウェットクリーニング/ストリップ/エッチング

ラムリサーチの RELIANTクリーニング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。

RELIANT システムディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE）リアクティブ・イオンエッチング（RIE）

当社の RELIANT エッチング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。

RELIANT システムパルスレーザー堆積（PLD）プラズマ化学気相成長（PECVD）化学気相成長（CVD）高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）

RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。

電解メッキ (ECD)

実績のあるElectrofill技術により、これらの高生産性システムは高度なパッケージングアプリケーションを開発するための高品質な金属膜を提供します。

Semiconductor Process Modeling

SEMulator3D^® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.

Atomic Layer Etch (ALE) ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE）

私たちの最新エッチング装置のプラットフォームは、最高の生産性でプロセスパフォーマンスを提供するコンパクトで高密度のアーキテクチャで比類のないシステムインテリジェンスを実現します。

Ultraviolet Thermal Processing (UVTP)

このシリーズ製品は、高度な膜アプリケーションの物理的特性を向上させる特殊な成膜後のトリートメント機能を提供します。

高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）

これらの酸化膜成膜製品は、業界最高のスループットと信頼性を備えた高アスペクト比スペースの完全なギャップフィル機能を提供します。

ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE）リアクティブ・イオンエッチング（RIE）

ディープエッチング用途では、高アスペクト比の重要な形状に必要な卓越したウェーハ全体にわたる均一性制御を提供します。

プラズマ化学気相成長（PECVD）

ラムリサーチ社のPECVD製品ファミリーは、幅広いデバイスアプリケーションに対応した高い生産性の精密な酸化膜成膜を提供します。