Interconnect Solutions | Our Solutions

配線工程はチップ上の何10億個もの回路素子（トランジスタやコンデンサなど）を繋ぐために複雑な層間配線を形成する物です。チップ上の素子密度が高まるにつれ、全てを正しく繋ぐのに必要な配線層も増えるので、生産工程は難しくなります。現実問題として、微細化による寸法の縮小により、最先端のデバイスにおいては配線がチップの処理速度を遅くする要因になってきています。そのため、メタル接合の電気抵抗を低減する技術や、絶縁性能を高めるための新たな誘電体材料が必要になってきています。最先端の高性能電子デバイスで採用される配線構造は極めて微細な構造で、しかも複雑な薄膜層を使います。そのため、柔軟性が高く、精密なプロセス能力が必要です。

配線工程

ラムリサーチのソリューション

ALTUSシリーズ製品

Atomic Layer Deposition (ALD) Chemical Vapor Deposition (CVD)

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜します。

Advanced Memory, Interconnect, Packaging, Transistor

CORONUSシリーズ製品

Plasma Bevel Clean

これらのベベルクリーンシステムは、ウェハのエッジから不要な材料を除去すると共にアクティブなダイ領域を保護し、ダイの歩留まりを向上させます。

Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor

DV-PRIME & DA VINCI シリーズ

Spin Wet Clean

これらの製品は製造工程全体にわたる複数のウェハクリーニングステップにおいて求められる高い生産性と柔軟性を実現するプロセスを提供します。

Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Packaging, Patterning, Sensors & Transducers, Transistor

EOS シリーズ製品

ラムリサーチの先進的なウェットクリーン製品は、厳しい要求条件の用途に対して高スループットで不良率が低いウェハ生産を可能にします。

Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor

FLEX シリーズ製品

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch

ラムリサーチの酸化膜エッチシステムは、先進のデバイスに求められる複雑な構造を備えた幅広いアプリケーションに配慮した機能を提供します。

Advanced Memory, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Packaging, Patterning, Transistor

GAMMAシリーズ製品

Dry Strip

これらの製品は、各種のクリティカルなフォトレジストストリップアプリケーションに対応した高いプロセス柔軟性を提供します。

Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor

KIYO シリーズ製品

Reactive Ion Etch

業界をリードするコンダクターエッチング製品は、クリティカルなデバイス機能に必要な高精度と高い生産性での制御を実現します。

Advanced Memory, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Patterning, Sensors & Transducers, Transistor

METRYX シリーズ製品

Mass Metrology

ラムリサーチの質量計測システムは、高度なプロセス監視と3次元デバイス構造の制御により、サブミリグラムレベルの計測能力を提供します。

Advanced Memory, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Packaging, Patterning, Sensors & Transducers, Transistor

RELIANTエッチング製品

Reliant Systems Spin Wet Clean

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、コンダクター膜、酸化膜、および金属エッチングアプリケーションにおいて低所有コストで、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Packaging, Patterning, Sensors & Transducers, Transistor

RELIANTクリーン製品

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、フロントサイドならびにバックサイド/ベベルのクリーニングにおいて低所有コスト、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。